微機(jī)電工程材料、微機(jī)電器件與系統(tǒng)、微機(jī)械學(xué)、微納米測(cè)量與測(cè)試技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)、現(xiàn)代傳感技術(shù)、精密工程制造基礎(chǔ)和光存儲(chǔ)技術(shù)等。微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)主要培養(yǎng)從事微機(jī)電系統(tǒng)工程方面的設(shè)計(jì)制造，生產(chǎn)運(yùn)行和科技開發(fā)和技術(shù)經(jīng)濟(jì)管理方面的人才。

微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)介紹

微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機(jī)、電技術(shù)，尤其是微機(jī)械為基礎(chǔ)的，綜合多種學(xué)科領(lǐng)域技術(shù)的新型交叉學(xué)科。本專業(yè)的研究領(lǐng)域主要有微傳感器、微加速度計(jì)、微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微測(cè)量技術(shù)等。

微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)在光、機(jī)、電技術(shù)一體化方面的優(yōu)勢(shì)和研究成果為微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)方面的研究和發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。本系在微納米和微機(jī)電系統(tǒng)如微泵、微傳感器、微加速度計(jì)等一系列微器件的設(shè)計(jì)、制造、工藝、測(cè)試以及基礎(chǔ)理論等方面進(jìn)行了深入的研究,其它的研究領(lǐng)域還有:微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微測(cè)量技術(shù)、小飛機(jī)、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星、納米摩擦學(xué)以及光盤機(jī)讀寫頭微型機(jī)構(gòu)等。